取扱い商品 – Magma310 シリーズ(Magma O-ring)
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Magma O-ring(マグマオーリング)
Magma310 シリーズ
商品のご紹介
耐薬品性に優れ耐酸、耐スチームに使用出来ます。また、食品衛生法(厚生省告示第370号)にも適合しており、食品関連機器でのご使用も可能です。
半導体グレードでは重金属溶出量が少なくDRYエッチングプロセスにおいて酸素プラズマ等が優れております。
特徴
- 従来のフッ素ゴム(2元系)では使用出来なかった耐酸、耐スチームでも使用可能な材質です
- 半導体グレードでO2+CF4プラズマでも使用出来、DRYエッチャーやアッシング装置でも使用可能です。
- 金型成型が可能で様々な形状に加工出来ます。
物性データ
試験項目 | 測定値 | 試験方法 | |
---|---|---|---|
常態 | タイプAデュロメータ硬さ | A70 | JIS K6253 (硬さ試験) |
引っ張り強さ(Mpa) | 20.6 | JIS K6251 (引張試験) |
|
伸び(%) | 360 | ||
引張応力(100%伸び時)(Mpa) | 2.8 | ||
老化試験 | 温度及び時間 | 230°C ×72時間 |
JIS K6257 (老化試験) |
タイプAデュロメーター 硬さ変化 |
-2 | ||
引っ張り強さ変化率(%) | -23 | ||
伸び変化率(%) | 8 | ||
圧縮永久 ひずみ試験 |
温度及び時間 | 175°C ×72時間 |
JIS K6262 (永久ひずみ 試験) |
圧縮永久ひずみ率(%) | 16 | ||
(圧縮率:25%) | |||
耐スチーム試験 | 温度及び時間 | 165°C ×22時間 |
JIS K6258 (浸漬試験) |
試験流体 | スチーム | ||
タイプAデュロメーター 硬さ変化 |
-2 | ||
引っ張り強さ変化率(%) | -25 | ||
伸び変化率(%) | -10 | ||
体積変化量(%) | 2 | ||
耐溶液試験 | 温度及び時間 | 常温70時間 | |
試験流体 | メタノール | ||
タイプAデュロメーター 硬さ変化 |
-6 | ||
引っ張り強さ変化率(%) | -20 | ||
伸び変化率(%) | 5 | ||
体積変化量(%) | 4 |