取扱い商品 – Magma310 シリーズ(Magma O-ring)

Magma O-ring(マグマオーリング)
Magma310 シリーズ

Magma310 シリーズ

商品のご紹介

耐薬品性に優れ耐酸、耐スチームに使用出来ます。また、食品衛生法(厚生省告示第370号)にも適合しており、食品関連機器でのご使用も可能です。
半導体グレードでは重金属溶出量が少なくDRYエッチングプロセスにおいて酸素プラズマ等が優れております。

特徴

  • 従来のフッ素ゴム(2元系)では使用出来なかった耐酸、耐スチームでも使用可能な材質です
  • 半導体グレードでO2+CF4プラズマでも使用出来、DRYエッチャーやアッシング装置でも使用可能です。
  • 金型成型が可能で様々な形状に加工出来ます。

物性データ

試験項目 測定値 試験方法
常態 タイプAデュロメータ硬さ A70 JIS K6253
(硬さ試験)
引っ張り強さ(Mpa) 20.6 JIS K6251
(引張試験)
伸び(%) 360
引張応力(100%伸び時)(Mpa) 2.8
老化試験 温度及び時間 230°C
×72時間
JIS K6257
(老化試験)
タイプAデュロメーター
硬さ変化
-2
引っ張り強さ変化率(%) -23
伸び変化率(%) 8
圧縮永久
ひずみ試験
温度及び時間 175°C
×72時間
JIS K6262
(永久ひずみ
試験)
圧縮永久ひずみ率(%) 16
(圧縮率:25%)  
耐スチーム試験 温度及び時間 165°C
×22時間
JIS K6258
(浸漬試験)
試験流体 スチーム
タイプAデュロメーター
硬さ変化
-2
引っ張り強さ変化率(%) -25
伸び変化率(%) -10
体積変化量(%) 2
耐溶液試験 温度及び時間 常温70時間
試験流体 メタノール
タイプAデュロメーター
硬さ変化
-6
引っ張り強さ変化率(%) -20
伸び変化率(%) 5
体積変化量(%) 4
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